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新设备已完成:真空镀膜机

点击次数:1488次  发布时间:2017-03-10

设备装配过程(1)

这是我公司近期的一个定制项目,为客户定做了一台真空镀膜机。本实验设备适用于镀制各种多层光学薄膜和电学膜,是有关工厂、研究院和大专院校进行生产和科研的理想设备。

 

设备装配过程(2)

本设备采用箱式结构,抽气系统后臵,便于拆卸和维修。整机表面平整,便于清洁,适合净化间安装。蒸发室全部采用不锈钢制造,外有可通冷、热水的护罩,可对壁进行加热(热水器选配)或冷却。阀门采用气动,操作方便,使用可靠。液氮冷阱和水冷挡板设计为一整体。蒸发室抽气口也设臵一光学密封机械挡板,因此可使蒸发室的油污染降低到极低的程度。本设备配备的抽气元件抽速较大,因此具有抽气时间短,工作真空度高,生产周期短等特点。

 

完工后的设备

主要技术参数

1)真空,极限真空:2×10-4Pa              2)恢复真空,从大气→2×10-3Pa≤10min

 

3)蒸发室,腔体尺寸:500x500x700    4)工件夹具:外径φ100mm

 

5)夹具转速:N=9-300rpm                  6)电源:220v/50Hz

 

7)总功率:3kw                                8)温湿度数据记录频率:1次/分(容量>6小时)

 

9)手动排气阀直径:25mm                 10)顶部机械压力表测量范围:-0.1Mpa-0

 

11)平板电极材质:紫铜(300x300x2)    12)膜厚测试仪测量范围:20nm-1μm

 

13)起泡器温控精度:±0.5℃                      14)起泡器外接接口尺寸:1/4寸

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