真空镀膜机采用箱式结构，抽气系统后臵，便于拆卸和维修。整机表面平整，便于清洁，适合净化间安装。蒸发室全部采用不锈钢制造，外有可通冷、热水的护罩，可对壁进行加热(热水器选配)或冷却。本设备适用于镀制各种多层光学薄膜和电学膜，是有关工厂、研究院和大专院校进行生产和科研的理想设备。
开机准备阶段：
先开启水泵、气源，确认冷却水、气压供应正常，再打开设备总电源。
开启维持泵和真空计电源，将真空计调至V1档位，等待约5分钟，直到真空计数值降到10以下，再进行下一步。
安装待加工工件：确认所有控制开关处于“关”位置，拉出低压阀，打开充气阀，无气流声后升起钟罩；清洁腔体，将基片、靶材安装固定好，检查无误后落下钟罩，关闭真空门。
抽真空阶段：
开启冷却水，启动扩散泵进行预热，预热时间约40分钟。
启动机械泵开始预抽真空，将低压旋钮转至2区段测量位，观察低真空表，当指针移动至约6.7-7Pa时，打开高压阀。
若使用涡轮分子泵机型，预抽至真空度小于2Pa后，切换真空计至V2档位，等待分子泵读数到250以上，关闭预抽，打开前级阀和高真空阀继续抽真空。
持续抽真空直到真空度达到工艺要求：普通蒸发镀膜需达到0.1Pa以下，电子枪镀膜需要达到2×10^-3Pa以下才可开启电子枪电源。
镀膜操作阶段：
确认真空度达标后，根据镀膜工艺调整参数：蒸发镀膜需逐步调升加热电流，观察靶材加热状态；磁控溅射需调整功率、气体流量等参数。
以常见的铝丝蒸镀为例：当钨螺旋加热子变为黄橙色、铝丝开始熔化时，移开挡板开始蒸发；铝丝完全蒸发后，将挡板复位，调回调压器至零位，单次蒸镀完成。
镀膜过程中随时监测真空度、温度、膜厚等参数，稳定后保持工艺参数直至镀膜达到要求厚度。
关机收尾阶段：
镀膜完成后，按顺序关闭设备：先关闭靶电源、电离真空计、高压阀，再依次关闭扩散泵、机械泵、维持泵。
拉出低压阀，向钟罩充气，充气完成后升起钟罩，取出加工完成的工件。
待扩散泵完全冷却后，关闭冷却水、总电源，清理设备腔体，做好使用记录。若使用分子泵，需等待分子泵频率降为0后再执行关机操作。
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