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关于真空镀膜机的一些注意事项说明

发布时间:2021-06-15      点击次数:1023
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空电阻加热蒸发,电子枪加热蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积,离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。
ZKJ B真空镀膜机采用箱式结构,抽气系统后臵,便于拆卸和维修。整机表面平整,便于清洁,适合净化间安装。蒸发室全部采用不锈钢制造,外有可通冷、热水的护罩,可对壁进行加热(热水器选配)或冷却。真空镀膜机阀门采用气动,操作方便,使用可靠。液氮冷阱和水冷挡板设计为一整体。蒸发室抽气口也设臵一光学密封机械挡板,因此可使蒸发室的油污染降低到极低的程度。
注意事项:
1.泵本身要保持清洁干燥,泵内的油具有密封和润滑作用,因此要按照规定量添加。 
2.机械泵停止工作前要先关闭进气阀门,再停电并开放气阀,将大气通过进气口放入泵中。
3.要不定期检点机械泵的皮带松紧度、电机的转速,罗茨泵电机的转速,和密封圈的密封效果。 
4.机械泵要安装在清洁干燥的地方。 
5.泵在工作期间,油温不可以超过75摄氏度,否则会由于油的黏度过小而导致密封不严。 
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