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真空镀膜机维护

点击次数:465  发布时间:2019-09-25

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真空镀膜机维护:


1、保护设备正常工作的必要条件:


2、工件环境温度不得高于40℃。


3、工件环境相对湿度不得大于90%。


4、冷却水进水温度不得高于25℃,水压不得低于0.2Mpa,供气压力0.6Mpa,工作压力0.4~0.5MPa。


5、设备及工作环境必须清洁。


6、使用电阻蒸发和烘烤时必须通冷却水。


7、蒸发材料应预先除气。


8、进行离子轰击时,蒸发室的真空度必须在10~1Pa范围内,否则蒸发室的气体电离所产生的电流,使工件烘烤电源有短路的危险,因此离子轰击与工件烘烤不能同时进行。


9、当电源或机械泵发生故障时,应立即停机,关闭高真空阀。


10、定期检查机、电各部份工作情况。

 

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