真空镀膜机启动前检查调试

在启动致研科技定制的这台实验仪器——真空镀膜机之前，需要先进行检查和调试，确保没有问题之后再进行接下来的操作。

具体步骤参考如下

1.检查设备接地是否可靠，电气部分是否正确。

2.取下电机上弹性联轴器，启动电机，检查电机运转方向与真空泵壳体旋转箭头方向是否一至，然后再装上联轴器。

3.检查真空泵运转方向与箭头方向是否一致（详见真空泵使用说明书）。

4.检查有关部件的连接螺钉是否拧紧，特别是真空系统的连接螺钉。

5.检查各转动机构的传动是否灵活，有无卡滞。

6.打开蒸发室，对蒸发室内壁和内部零件进行清洁，检查蒸发室内各电极接线是否正确。尤其注意电阻蒸发电极是否与防污板相碰。

7.对蒸发室试抽真空，检查是否能达到应达到的真空指标。

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